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真空箱的工作流程是怎样的?

编辑:东莞市盛飞真空设备有限公司时间:2020-02-18

  真空箱箱体工作流程:

  首先翻开预抽阀门由预抽泵组对箱体抽暇25秒(粗抽),然后封闭预抽阀门,再翻开检漏[阀门由检漏泵组继续对箱体进行抽暇(精抽),并不断判断真空箱的真空度有没有到达检漏真空度(一般是10~20Pa),假如真空到达则翻开检漏仪阀门,让检漏仪检测信号的大小。

  检漏压力和箱体本底的联系

  本底的概念:

  1.本底是指没有氦气信号输入时检漏仪显现的值。

  2.真空箱本底是指真空箱内不放任何物体时,检漏仪显现的信号。.

  假如真空箱内放入工件后,因为工件表面存在放气现象,或许会形成抽真空的时刻加长,如空箱时需求15秒可将箱内真空度抽到10Pa,可是放入工件后或许需求18秒才能抽到10Pa。此刻在相同的真空下箱体的本底值或许是不一样的,这是因为工件表面虽然会藏气,可是这些藏气的氦气含量较低,因为真空箱预抽的时刻变长所以氦气浓度更低,本底也就相应变小。

  假如检漏压力设定的太高,如设定到100Pa则或许箱体的本底会很高,或许会高达10-8 Pa-m3/S,这样或许会发生误报。可是假如将检漏的压力设定的过低,虽然能够提高检漏精度,可是会延伸抽暇的时刻,形成效率的下降。所以检漏压力的设定应该根据箱内工件的实际情况设定。

  具体方法如下,取两只合格的工件,将他们放入箱内然后设定检漏压力为18Pa测试此刻箱体发生的本底信号。假如本底高于2.0X10-9 Pa.m3/S,则再将检漏压力设定低一一点,假如低于此值,则能够将检漏压力调的在高-一点,一-般的准则是在保证检测精度情况下尽量增大检漏压力。.

  呼应时刻的存在是因为氦气从漏孔中漏出后在箱体里要发生平衡的时刻(也就是信号到达zui大值的时刻),这个时刻和箱体的体积,泵组的抽速有直接联系,从试验数据得出呼应时刻等于箱体的体积除泵组的抽速,这个时刻就是箱内氦气到达平衡的时刻。此外因为箱体和检漏仪接通的-瞬间箱体和检漏仪检漏口的真空度是不一样的,所以会发生一个冲击。因为现在的这台真空箱采用的检漏泵组抽速很大,所以相应时刻很短(箱体的体积约为1立方,抽速越为300升/秒))约为4秒,可是因为存在冲击(约为8秒),所以呼应时刻的设定应该大于8秒。


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