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罗茨真空泵
罗茨真空泵

  在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动做彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故中、高真空罗茨泵需要前级泵。因此,罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空度。

  罗茨泵的工作原理既具有容积泵的工作原理,又有分子泵的抽气效应。

  由于转子的连续旋转,被抽气体从泵进气口吸入到下转子与泵壳之间的空间V0内,吸气后V0空间是全封闭状态。随着转子的转动,封闭的V0空间与排气口相通,由于排气侧气体压力较高,引起一部分气体反冲过来,使V0空间内的气体压力突然增高。当转子继续转动时,V0空间内原来封入的气体连同反冲的气体一起被排向泵外。这时,上转子又从泵入口封入V0体积的气体。由于泵的连续运转,使两个转子不停地形成封闭空间V0又不停地将封闭空间玑内的气体排出泵外,从而实现了抽气的目的。


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